SF6精密露点仪也叫微水仪，因此将露点仪长期放置于大气环境中，会降低露点仪的测量精度。固定式安装的露点仪一般2年需要重新校准一次；而便携式应用的露点仪一般1年就要重新校准一次，主要原因就是便携式露点仪和大气环境接触的机会更多，测量精度更容易受到影响。

 

　　SF6精密露点仪通过水分的增减改变电容介电材料的特性，进而改变电容值，进而改变由电容和电感组成的振荡电路的振荡频率。振荡频率的高低反应压缩空气中水分含量的多少。

 

　　根据所采用介电材料的不同常见的有两类：氧化铝型和高分子聚合物薄膜型。氧化铝型低可以测量到－100°C的压力露点，薄膜型低可以测量到－80°C。

 

　　让样气流经露点冷镜室的冷凝镜，通过等压制冷，使得样气达到饱和结露状态（冷凝镜上有液滴析出），测量冷凝镜此时的温度即是样气的露点。该方法的主要优点是精度高。

 

　　在采用半导体制冷和光电检测技术后，不确定度甚至可达0.1℃；缺点是响应速度较慢，尤其在露点－60℃以下，平衡时间甚至达几个小时，而且此方法对样气的清洁性和腐蚀性要求也较高，否则会影响光电检测效果或产生‘伪结露’造成测量误差。

 

　　镜面制冷的方法有：半导体制冷、液氮制冷和高压空气制冷。镜面式露点仪采用的是直接测量方法，在保证检露准确、镜面制冷效率和测量结露温度前提下，该种露点仪可作为标准露点仪使用。目前上精度达到±0.1℃（露点温度），一般精度可达到±0.5℃以内。